The study about accelerating Photoresist strip under plasma
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
an investigation about the relationship between insurance lines and economic growth; the case study of iran
مطالعات قبلی بازار بیمه را به صورت کلی در نظر می گرفتند اما در این مطالعه صنعت بیمه به عنوان متغیر مستفل به بیمه های زندگی و غیر زندگی شکسته شده و هم چنین بیمه های زندگی به رشته های مختلف بیمه ای که در بازار بیمه ایران سهم قابل توجهی دارند تقسیم میشود. با استفاده از روشهای اقتصاد سنجی داده های برای دوره های 48-89 از مراکز ملی داده جمع آوری شد سپس با تخمین مدل خود بازگشتی برداری همراه با تعدادی ...
15 صفحه اولPlasma-surface Interactions of Model Polymers for Advanced Photoresist Systems
Title of Document: PLASMA-SURFACE INTERACTIONS OF MODEL POLYMERS FOR ADVANCED PHOTORESIST SYSTEMS Sebastian Ulrich Engelmann, Doctor of Philosophy, 2008 Directed By: Professor Gottlieb S. Oehrlein, Department of Material Science and Engineering Plasma processing of advanced photoresist (PR) materials is a critical step in nano-manufacturing. We have studied the interactions of PRs and polymers ...
متن کاملAnalytical Study of Dynamic Response of Railway on Partial Elastic Foundation under Travelling Accelerating Concentrated Load
The dynamic response of the railway under accelerated moving load using Dynamic Green Function is presented in this paper. For this purpose, an exact and direct modeling technique is introduced for the railway modeling as the damped Euler-Bernoulli beam on the partial Winkler foundation with arbitrary boundary conditions subjected to the moving load. The effects of the elastic coefficient of Wi...
متن کاملPattern Photoresist Silicon Silicon Nitride Silicon Photoresist Silicon Nitride Silicon Etch Nitride Remove Photoresist
In this proposal we seek to establish a porous silicon based etching process in the WTC microfabrication laboratory. The new process will allow us to etch high aspect ratio holes through a wafer. Holes like these are important for decreasing the dead volume of connections between micro and macro systems and for increasing the complexity of micro-fluidic systems. At the present time, the minimum...
متن کاملbuckling of viscoelastic composite plates using the finite strip method
در سال های اخیر، تقاضای استفاده از تئوری خطی ویسکوالاستیسیته بیشتر شده است. با افزایش استفاده از کامپوزیت های پیشرفته در صنایع هوایی و همچنین استفاده روزافزون از مواد پلیمری، اهمیت روش های دقیق طراحی و تحلیل چنین ساختارهایی بیشتر شده است. این مواد جدید از خودشان رفتارهای مکانیکی ارائه می دهند که با تئوری های الاستیسیته و ویسکوزیته، نمی توان آن ها را توصیف کرد. این مواد، خواص ویسکوالاستیک دارند....
ذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Journal of the Korean Vacuum Society
سال: 2008
ISSN: 1225-8822
DOI: 10.5757/jkvs.2008.17.2.113